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采用適合工藝技術(shù)制造硅MEMS振蕩器
MEMS振蕩器商用化的一個最大障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。本文展示了一種適用于MEMS振蕩器的制造工藝，以及一組可與傳統(tǒng)的石英晶體技術(shù)相媲美的測量數(shù)據(jù)。這些測量數(shù)據(jù)是目前為止得到的最穩(wěn)定的MEMS振蕩器數(shù)據(jù)。
2008-10-09
純凈 振蕩 頻率 穩(wěn)定
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固態(tài)混合電勢氣體傳感器的原理和應(yīng)用
以混合電勢響應(yīng)為基礎(chǔ)的固態(tài)高溫氣體傳感器為各種還原性氣體提供了一種簡單快速并且低成本的原位在線測量。這些傳感器響應(yīng)機(jī)理因電極材料、電極微觀形貌等不同而有所變化，主要分為混合電勢與被測氣體濃度呈對數(shù)關(guān)系或者線性關(guān)系兩種類型。其響應(yīng)行為取決于電極反應(yīng)的Butler-Volmer動力學(xué)方程的具體...
2008-10-09
混合電勢 氧化 還原 傳感器
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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個流程工藝簡單標(biāo)準(zhǔn)，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結(jié)構(gòu)，利用陽極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜并由試驗結(jié)...
2008-10-09
電容式壓力傳感器 敏感薄膜 KOH腐蝕
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表面橫波生物傳感器的靈敏度分析
近年來在生物檢測研究方面，聲表面波傳感器因具有體積小、重量輕、性能穩(wěn)定、價格便宜等優(yōu)點受到廣泛關(guān)注。本文將推導(dǎo)靈敏度、加工等方面對表面橫波傳感器靈敏度的影響，并進(jìn)行相關(guān)分析。
2008-10-09
表面橫波傳感器 柵陣 生物檢測
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計與制作
本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計原理及軟件模擬結(jié)果，并依據(jù)理論與模擬結(jié)果設(shè)計了工藝流程，對設(shè)計的懸梁式測風(fēng)傳感器進(jìn)行了測量。
2008-10-08
MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器 ANSYS CFD 工藝制作
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4G CMOS成像器提高安全性能
CMOS成像更新?lián)Q代越來越快，目前正開始經(jīng)歷第四代。本文描述了CMOS成像器在汽車市場的用途、4G CMOS成像器的安全性能及其在汽車方面的潛在市場。
2008-10-08
CMOS成像 CCD 車用市場
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汽車電子如何推動無源器件發(fā)展
隨著汽車電子化、信息化的深入，以MCU為代表的有源器件在汽車上的應(yīng)用日益增多，不過同時，汽車上應(yīng)用的無源器件也在增加，以傳感器為例，“1980年汽車中傳感器的數(shù)量平均為20個，預(yù)計到2010年汽車中傳感器的平均數(shù)量將增加到150個?！边@是村田制作所株式會社事業(yè)部長宮崎二郎在村田汽車研討會上透露...
2008-10-06
汽車電子 無源器件 電容器 傳感器 電阻 電感
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基于熱釋電傳感器p7187的人體測溫儀的設(shè)計
熱釋電紅外探測器是由熱釋電紅外傳感器、菲涅耳透鏡及電子電路組成的一種光電檢測裝置。它能無接觸地檢測人體運(yùn)動時輻射出的紅外線并轉(zhuǎn)換成電信號輸出。本文介紹了一種用于快速測量人體體溫的p7187熱釋電傳感器的原理及其基本設(shè)計電路。
2008-10-05
熱釋電紅外傳感器 p7187 人體表面溫度
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基于集成壓力傳感器的無源胎壓監(jiān)控系統(tǒng)研究
近代如何防止爆胎已成為安全駕駛的一個重要課題，保持標(biāo)準(zhǔn)的車胎氣壓和及時發(fā)現(xiàn)車胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵，而汽車輪胎壓力監(jiān)視系統(tǒng)將是預(yù)防爆胎的理想工具。本文描述了胎壓監(jiān)控的基本原理，給出無源TPMS磁場電磁耦合和直接胎壓監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計與分析方案，在分析了輪胎壓力監(jiān)摔系統(tǒng)的原理及各種不同解...
2008-10-05
胎壓監(jiān)控 直接系統(tǒng) 間接系統(tǒng) 電感耦合
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