【導(dǎo)讀】車儀田作為國內(nèi)半導(dǎo)體在線測控領(lǐng)軍企業(yè)，借北京新工廠啟用進入“技術(shù)+規(guī)?！彪p輪驅(qū)動階段。成立三年多來，憑核心技術(shù)躋身細分龍頭，市占率超20%。新工廠劍指年5億元產(chǎn)值，強化服務(wù)能力。其以自主研發(fā)為基、融合AI技術(shù)，并購?fù)晟飘a(chǎn)品矩陣，向國產(chǎn)化2.0邁進，彰顯國產(chǎn)零部件突圍路徑。

近日，中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝在線測控解決方案提供商上海車儀田科技有限公司（以下簡稱“車儀田”），在北京隆重舉行新工廠擴產(chǎn)啟用儀式暨媒體開放日活動，標(biāo)志著車儀田在半導(dǎo)體加熱與溫控領(lǐng)域的產(chǎn)能布局、工藝升級與客戶服務(wù)能力實現(xiàn)跨越式提升。

車儀田科技創(chuàng)始人兼CEO張黎明表示，北京新工廠的落成，不僅是產(chǎn)能的擴展，更是一次戰(zhàn)略布局的落地。自此，車儀田正式從“技術(shù)引領(lǐng)”，邁向與“規(guī)模交付”并行的雙輪驅(qū)動新階段。

車儀田科技創(chuàng)始人兼CEO張黎明

北京新工廠計劃產(chǎn)值目標(biāo)5億元

上海車儀田成立于2022年6月，專注于等離子體光譜分析、高精度溫度測控、氣體濃度分析及真空閥門等核心技術(shù)，先后推出多款填補國內(nèi)空白的終點檢測系統(tǒng)、氣體分析儀及多場集成解決方案。作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭公司的光電類零部件戰(zhàn)略供應(yīng)商，截至2025年，公司產(chǎn)品累計出貨量近5000臺，國內(nèi)市場占有率超20%，年營收更是突破億元！

此次啟用的北京新工廠占地面積近10000平方米，一期投資達5000 萬元，未來三年內(nèi)總投資額將逐步增至1億元。規(guī)劃建設(shè)16條加熱帶自動化生產(chǎn)線，預(yù)計2026年底實現(xiàn)2億元產(chǎn)值規(guī)模，2027年沖刺5億元目標(biāo)。

據(jù)悉，北京新工廠聚焦工業(yè)級加熱全棧解決方案，涵蓋硬件設(shè)計、熱場流場模擬仿真、加熱器、保溫結(jié)構(gòu)、溫度控制器及配套軟件算法，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體真空設(shè)備、爐管設(shè)備、廠務(wù)控溫等場景，客戶覆蓋國內(nèi)一線半導(dǎo)體設(shè)備廠商與芯片制造企業(yè)。

北京車儀田科技CEO倪志松表示，亦莊作為北京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚地，營商環(huán)境優(yōu)越且供應(yīng)鏈配套成熟，距離晶圓廠、設(shè)備廠等核心客戶車程僅十余分鐘，不僅為售前溝通、售后運維提供了極大便利，更能依托這一北方橋頭堡，高效支撐上海及江浙地區(qū)的業(yè)務(wù)拓展。

同時，為破解北京人力成本偏高的難題，新工廠將持續(xù)引入半自動化與自動化生產(chǎn)設(shè)備，目前已實現(xiàn)人效1.5倍提升，通過機器替代人工的核心舉措，既保障了高定制化產(chǎn)品的品質(zhì)一致性，也顯著提升了交付效率，為應(yīng)對半導(dǎo)體行業(yè)日益增長的訂單需求筑牢基礎(chǔ)。

國產(chǎn)零部件實現(xiàn)“從對標(biāo)到追超”

在半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域，車儀田能在短短三年間躋身細分賽道龍頭，既源于創(chuàng)始人張黎明及其團隊深耕半導(dǎo)體行業(yè)20余年，對半導(dǎo)體設(shè)備零部件產(chǎn)品技術(shù)原理與應(yīng)用場景的深刻理解。也源于近年來貿(mào)易制裁引發(fā)的海外零部件斷供潮，以及國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的急劇擴張，為國產(chǎn)零部件提供了難得的市場機遇。尤其是2024年底美國新一輪制裁將主流半導(dǎo)體設(shè)備納入管控清單后，車儀田憑借成熟的技術(shù)儲備實現(xiàn)業(yè)務(wù)的爆發(fā)式增長。

以車儀田的加熱帶產(chǎn)品為例，該產(chǎn)品對標(biāo)國際成熟品牌，針對28納米至5納米先進制程的需求升級，在關(guān)鍵指標(biāo)上實現(xiàn)了多項突破：包括國內(nèi)首家實現(xiàn)200攝氏度持續(xù)使用無顆粒釋放，溫度均勻性達到國內(nèi)行業(yè)前沿水平。盡管在產(chǎn)品安全性與可靠性上仍需向國際品牌學(xué)習(xí)，但憑借全鏈條自主研發(fā)能力，無論是材料選型、控溫設(shè)計，還是仿真優(yōu)化均獨立完成，加之占比高達60%的研發(fā)人員配置，車儀田已構(gòu)建起持續(xù)的產(chǎn)品競爭力。

AI技術(shù)的深度融合成為車儀田的另一大技術(shù)亮點。張黎明表示，在線檢測類零部件對標(biāo)定能力與算法處理要求極高，而AI技術(shù)與這類產(chǎn)品的適配度堪稱完美。車儀田在產(chǎn)品研發(fā)初期便將AI集成于算法與標(biāo)定系統(tǒng)中，使產(chǎn)品在性能對標(biāo)海外同類型產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，具備了超越潛力。目前相關(guān)技術(shù)已進入客戶驗證階段，部分局部場景的應(yīng)用效果已達到國內(nèi)領(lǐng)先水平。

三年沖刺全鏈條國產(chǎn)自主

當(dāng)前，中國半導(dǎo)體核心零部件國產(chǎn)化正處于關(guān)鍵轉(zhuǎn)型期。倪志松坦言，盡管國內(nèi)設(shè)備廠商已逐步接受國產(chǎn)設(shè)備，但在零部件選擇上仍優(yōu)先傾向日韓等海外品牌，僅在海外斷供的細分領(lǐng)域選擇國產(chǎn)替代，目前車儀田在在線檢測、加熱帶等領(lǐng)域的市場占比約為20%。這一現(xiàn)狀背后，既有國產(chǎn)零部件客戶認(rèn)可度有待提升的問題，也折射出核心供應(yīng)鏈的國產(chǎn)化短板。

在與《電子工程專輯》的對話中，張黎明指出，當(dāng)前半導(dǎo)體核心零部件國產(chǎn)化面臨的最大機遇，毫無疑問是產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移與地緣政治因素共同催生的國產(chǎn)替代需求，政策與資本市場的大力支持更為企業(yè)發(fā)展提供了良好環(huán)境。

但挑戰(zhàn)同樣不容忽視。例如核心原材料與關(guān)鍵芯片仍有30%依賴海外供應(yīng)，盡管國內(nèi)上游企業(yè)的產(chǎn)品性能已逐步追平海外，但應(yīng)用基礎(chǔ)薄弱導(dǎo)致客戶認(rèn)可度不足。同時，國內(nèi)設(shè)備廠商對國產(chǎn)零部件的要求甚至高于海外成熟產(chǎn)品，在性能指標(biāo)與穩(wěn)定性上提出了更為苛刻的標(biāo)準(zhǔn)，這對企業(yè)的研發(fā)迭代與產(chǎn)品驗證效率構(gòu)成巨大考驗。

“其實，國內(nèi)上游產(chǎn)品在產(chǎn)品性能上已不遜于海外，且具備價格優(yōu)勢與周到服務(wù)，隨著應(yīng)用場景的不斷豐富，客戶認(rèn)可度必將逐步提升，全鏈條國產(chǎn)化是必然趨勢?！睆埨杳鞅硎荆噧x田將在未來兩三年內(nèi)陸續(xù)實現(xiàn)上游供應(yīng)鏈全國產(chǎn)化，通過與國內(nèi)供應(yīng)商合作驗證，逐步將國產(chǎn)原材料與芯片納入供應(yīng)體系。

并購整合，邁向國產(chǎn)化2.0時代

自2022年在上海扎根以來，車儀田憑借核心團隊數(shù)十年的行業(yè)深耕與產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗，僅用三年多時間便實現(xiàn)了從技術(shù)突破到行業(yè)引領(lǐng)的跨越式成長。

2022年，公司成立之初便推出OES終點檢測系統(tǒng)填補國內(nèi)空白；2023年乘勢而上，氣體分析產(chǎn)品成功落地，當(dāng)年獲頭部客戶“金牌供應(yīng)商”認(rèn)證；2024年北京車儀田成立，進一步拓展了半導(dǎo)體加熱帶業(yè)務(wù)。

值得一提的是，2025年車儀田動作密集且成效顯著：戰(zhàn)略收購上海近碩并整合真空閥門業(yè)務(wù)，實現(xiàn)產(chǎn)品生態(tài)關(guān)鍵補位；集團全年累計出貨量近5000臺，年營收突破億元大關(guān)！

在半導(dǎo)體制造的“核心工序”刻蝕工藝中，芯片結(jié)構(gòu)的精度與性能直接取決于過程監(jiān)測技術(shù)的可靠性。車儀田推出的OES終點檢測系統(tǒng)，憑借非侵入式監(jiān)測的核心優(yōu)勢，實現(xiàn)了對刻蝕過程的精準(zhǔn)把控，成為工藝優(yōu)化的關(guān)鍵設(shè)備。

針對半導(dǎo)體制造中氣體污染管控的行業(yè)難題，車儀田研發(fā)出氣體分析儀及多物理場檢測集成解決方案，其核心產(chǎn)品RGA系統(tǒng)在設(shè)計中充分考慮了工業(yè)環(huán)境的嚴(yán)苛要求，其模塊化設(shè)計允許用戶現(xiàn)場更換電子倍增器和燈絲，無需將整機送回維修，減少了時間成本。

依托上述核心產(chǎn)品的技術(shù)積淀，車儀田目前已構(gòu)建起等離子體光譜分析、氣體液體濃度分析、高精度溫度測量及控制、半導(dǎo)體用包覆式加熱裝置、真空閥組及閥門五大產(chǎn)品矩陣，產(chǎn)品覆蓋刻蝕、沉積、熱處理等半導(dǎo)體核心工藝環(huán)節(jié)。

張黎明指出，半導(dǎo)體設(shè)備包含上千個零部件，設(shè)備廠商亟需減少供應(yīng)商數(shù)量以降低管理成本、統(tǒng)一品質(zhì)管控，這與國際零部件巨頭的整合路徑一致。今后，車儀田將圍繞在線測控類零部件賽道，持續(xù)推進相關(guān)領(lǐng)域的并購擴張，依托自身在軟件算法與品質(zhì)管控上的優(yōu)勢，構(gòu)建更完整的產(chǎn)品矩陣。

而在談及行業(yè)熱議的“國產(chǎn)化2.0”話題時，倪志松認(rèn)為，國產(chǎn)化2.0的核心是圍繞客戶需求實現(xiàn)高端產(chǎn)品突破，車儀田將持續(xù)深化與客戶的緊密合作，把現(xiàn)場端的實際訴求轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品升級動力。張黎明則強調(diào)稱，國產(chǎn)化2.0的基因早已存在，國內(nèi)設(shè)備廠商正推出超越海外的創(chuàng)新產(chǎn)品，對零部件的先進功能提出更高要求，而車儀田憑借定制化服務(wù)與快速響應(yīng)能力，已具備支撐這類需求的實力。

車儀田三年多實現(xiàn)跨越式成長，借半導(dǎo)體國產(chǎn)替代浪潮，企業(yè)搶抓機遇、直面原材料依賴等挑戰(zhàn)，憑行業(yè)積淀、研發(fā)投入與并購策略，在技術(shù)與產(chǎn)能上雙線突破，以AI融合筑牢競爭力。面向國產(chǎn)化2.0時代，車儀田深耕高端突破與全鏈條國產(chǎn)化，樹立行業(yè)范本，未來有望領(lǐng)跑賽道，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐。